半導体 / 電機・電力
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社会のデジタル化を支えるデータセンターや通信インフラ、そしてそれらを駆動する大規模な発電プラントにおいては、膨大な熱の処理とエネルギー効率の最大化が求められています。
当社は、半導体・液晶パネル製造における「超高純度・クリーン環境」の維持から、発電プラントにおける「MW（メガワット）クラスの大規模熱交換」まで、あらゆるクラスに対応する熱交換器をご提案いたします。
チタンやハステロイといった特殊材質の精密溶接技術と、高圧ガス保安協会の厳格な審査で認証取得した品質マネジメントシステムに沿った設計・製造力で「熱の力」を支え続けます。
半導体・電機・電力業界向け 製品ラインナップ
Shell & Tube
多管式熱交換器
半導体製造プロセスにおける特殊ガスや、腐食性の強い薬液の加熱・冷却に最適です。チタン、ハステロイ等の特殊材質を用いて精密溶接を行うことで、金属イオンの溶出を防ぎ、極めてクリーンな状態を維持します。また、発電プラントにおける高圧蒸気やプロセス水の熱交換など、過酷な条件下でも圧倒的な耐圧性と耐久性を発揮する万能型の熱交換器です。
Plate Fin
プレートフィン
密に並べた金属板（フィン）と管で構成される高効率な熱交換器です。高いフィンピッチ精度により、コンパクトながら広い伝熱面積を持ち、工場の乾燥用ヒーターや冷却・除湿用クーラーに幅広く使われています。
Elofin/LS Fin
エロフィン/LSフィン
エロフィンは独自機械による頑丈な作りで、粉塵などの悪環境に強く設計自由度が高いのが強みです。一方、次世代型のLSフィンはL字型フィンを完全密着させることで圧倒的な伝熱効率を実現しました。
Our Strengths製品の特長
クリーン・高純度を死守する「微粒子管理とコンタミ防止技術」
01
半導体ウェハーや液晶パネルの製造工程において、微小なパーティクル（微粒子）や不純物の混入（コンタミネーション）は、製品の歩留まりを致命的に低下させます。
「高品質の製品を生み、品質基準を保つ」という理念のもと、独自で構築した「勝川技術基準書（KES）」により、バラつきのない高品質でクリーンな製品を維持しています。
特殊材質（チタン・ハステロイ等）を自在に操る「高度な溶接・加工力」
02
半導体のエッチング工程や洗浄工程で用いられる強酸・強アルカリといった腐食性流体は、一般的なステンレス鋼では容易に侵食されてしまいます。
当社では、難削材・難溶接材として知られるチタン、ハステロイ、インコネル等の特殊材質を用いた熱交換器の設計・製造において、業界屈指の実績とノウハウを誇ります。長年培った熟練エンジニアの高度な溶接技術と、厳格な非破壊検査（浸透探傷検査等）を組み合わせることで、過酷な腐食環境下でも長期間にわたり性能を維持し続ける、圧倒的に寿命の長い堅牢な熱交換器をご提案いたします。
MWクラスの大規模熱交換器
03
発電プラントや大規模な環境・エネルギー施設においては、最大MW（メガワット）クラスという莫大な熱負荷を安全かつ効率的に処理する能力が求められます。
当社は創業以来、蓄積された膨大なデータを集約した「自社開発の熱解析ツール」を駆使し、巨大なスケールであっても熱設計を実現します。さらに、国内最高レベルの保安基準が求められる「高圧ガス保安協会」の厳格な審査にてISO 9001 / JIS Q9001の認証取得しており、高温・高圧の過酷な条件下でも決して揺るがない耐圧防爆性設備の設計・製作においても絶大な信頼を獲得しています。
製品の用途
Semiconductor & LCD
半導体・液晶パネル 製造
導体や液晶パネルの製造において、熱交換器は超高純度なクリーン環境の維持と、微細加工における超精密な温度制御を担う極めて重要な設備です。
具体的な用途として、まずはクリーンルーム全体の空調管理が挙げられます。わずかな温度変化による材料の熱膨張や静電気の発生を防ぐため、空調システムにおいて「0.1℃以下」という緻密な精度で温湿度をコントロールしています。また、露光やエッチング、成膜（CVD）といった各製造装置においては、ウエハやガラス基板を載せるステージ、あるいはプラズマ発生部を一定温度に保ち、加工精度のバラつきを徹底的に排除します。さらに、洗浄やエッチング工程で使用される各種薬液や超純水の温度管理にも不可欠であり、接液部への高純度SUS316Lやチタンの採用、さらには電解研磨処理などを施すことで、金属イオンや微粒子の溶出（コンタミ）を極限まで防ぎながら最適なプロセス温度を維持しています。
Electronics & Data Center
電機・電子部品・データセンター
スマートフォンの電子基板から、電気自動車（EV）用モーター・バッテリーの製造に至るまで、電機業界では加工機械の精度を保つための冷却水（チラー水）を維持管理する為に熱交換器が用いられます。
AIの普及に伴い発熱量が急増している巨大データセンターではサーバー群の効率的な冷却システム（水冷・液冷）を管理する為、熱交換器を導入する事が莫大な電力消費の削減（PUEの改善）に寄与する重要な手段です。
Power Generation & Environment
発電・電力・環境プラント
火力発電所、バイオマス発電、地熱発電などの大規模電力インフラにおいて、タービンや発電機の冷却、ボイラー給水の加熱、排ガスからの熱回収（エコノマイザー）など、熱エネルギーの有効活用はプラント全体の発電効率を直接的に左右します。
大型のフィンチューブ式や高圧対応の熱交換器は、これらの過酷な高温・高圧環境下で確実に機能します。
また、工場・プラントからの排熱を回収して再利用する事で、効率的に管理・最適化が可能となり、カーボンニュートラルにも大きく貢献できます。
